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硬X線のナノ集光とその応用 : DigInfo

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2008/12/11 に公開

DigInfo - http://www.diginfo.tv

大阪大学GCOE 高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点は、物づくりにおける原子レベルの制御性と環境調和性の実現をめざした高機能化原子制御製造プロセスの創出を目的としています。

セミコン・ジャパン2008において、最近の研究成果の一部を紹介しました。

プラズマを使った加工技術である「プラズマCVM」と微粒子を使った加工技術「EEM」という独自の技術を組み合わせることで、硬X線の集光サイズのワールドレコードを更新し続けており、現在では波長の回折限界までほぼ達するところまできています。

こういった技術を使う事で従来はできなかった次世代の半導体の加工ができるようになり、今後シリコンに代わる新しいエレクトロニクスの分野が開かれることが期待されています。

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