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FIRST EXPO 2014 可変SAWフィルタ(東北大学 ヘテロ集積化技術)

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Published on Mar 20, 2014

東北大学 江刺/田中研究室において、従来は一体化が難しかったLSIとMEMSをウェーハレベルで積層する「ヘテロ集積化」の技術を開発しました。LSIのウェーハとMEMSを形成したウェーハを接合し、MEMSをLSI上に転写します。これにより、マルチバンド無線通信システムに使用するデバイスを試作、基本動作を確認しました。

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