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NTNは、次世代の液晶ガラス基板として現在最大のサイズである第10世代に対応する精密位置決め駆動装置「超大型精密XYテーブル」の販売を5月より開始します。
今回、販売を開始する「超大型精密XYテーブル」は、従来品を更にストロークアップした上で、新方式の分割·接合構造を採用し、復元作業性に優れ、再度組立て後でも高精度な位置決めを実現可能としています。
精密位置決め駆動装置としてテーブル移動速度は、最大1500mm/s、位置決め精度は30µm以下、繰返し位置決め精度は±0.5µmです。
販売価格は、1台、2,000万円 からです。
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