安川電機 「第１０世代ガラス基板搬送ロボット」: Diginfo

安川電機の液晶ガラス基板搬送用ロボット「MOTOMAN-CDL3000D」は東京ビッグサイトで行われた２００８年度　ファインテックジャパンにて、アドバンスト ディスプレイ オブ ザ イヤーの製造装置部門でグランプリを受賞しました。ロボットの上下昇降軸は安川電機独自のダブルリンク式支柱機構を採用し、ダブルアームで可搬質量100kg／アーム、上­下昇降ストローク4000mm、前後伸縮ストローク5200mmの実現によって、第10世代対応超大形液晶ガラス基板2850×3050mmサイズの搬送を可能にしました­。ダブルリンク式支柱機構による高剛性とフレキシブルな動作でアームのたわみが少なく、また、液晶ガラス基板を搭載するハンドのねじれ方向補正は、左右のリンク式支柱によ­る上･下動のひねり動作でレベルの調整が可能になりました。これらの高剛性機構と高い自由度のほか、駆動モータや減速機を含めた全体の軽量化、動力伝達系の改善によって、­搬送速度はクラス最速を実現し、タクトタイムは37.4秒の高速搬送を可能にしました。安川電機では今後も、小形液晶ガラス基板から第10世代の超大形液晶ガラス基板まで­、それぞれの特長を活かした液晶ガラス基板搬送ロボットを市場に供給し、FPDロボット事業を更に強化していく方針です。

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[Phil670706]

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