Alert icon
We're changing our privacy policy. This stuff matters.  Learn more  Dismiss

三次元微細加工用露光システム : DigInfo

Loading...

Sign in or sign up now!
1,734
Loading...
Alert icon
Sign in or sign up now!
Alert icon

Uploaded by on Apr 25, 2008

DigInfo - http://movie.diginfo.tv

FPD用露光機をメインに製造し、精密機器、光学機器、計測器、理化学機器の設計、制作、販売を行う大日本科研は、第18回ファインテック•ジャパンにおいて、機械要素部­品、センサー、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基盤上に集積化したデバイス、通称「MEMS」の加工等に使われる、「三次元微細加工用露光システム」を展示しま­した。

移動マスク露光技術と搭載したこの機器は、リソグラフィーにおいて露光中のフォトマスクをレジスト面に対し平行に往復運動や回転運動等の周期移動をさせることにより、レジ­スト表面の露光量分布を制御し、レジストの三次元構造体を制作することが可能です

  • likes, 0 dislikes

Link to this comment:

Share to:

All Comments (0)

Sign In or Sign Up now to post a comment!
Loading...

0 / 00Unsaved Playlist Return to active list
    1. Your queue is empty. Add videos to your queue using this button:
      or sign in to load a different list.
    Loading...Loading...Saving...
    • Clear all videos from this list
    • Learn more