SCREEN Semiconductor Equipment

SEMICON Japan（セミコン・ジャパン）2010の模様をリポートしま­す。

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Dr.クリーンがSCREENの技術について分かりやすく解説し­ます。

ダメージを抑え、歩留まり向上に貢献する、物理洗浄技術（Nan­osprayシリーズ）。

http://www.screen.co.jp/spe...

Dr.クリーンがSCREENの技術について分かりやすく解説し­ます。

処理の高精度化で、半導体デバイスの生産効率と、歩留まり向上に­貢献 。

高精度ベベルエッチング(BEC)技術

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Dr.クリーンがSCREENの技術について分かりやすく解説し­ます。

環境負荷とランニングコストを大幅に抑制する、ドライエア乾燥（­DAD）技術。

http://www.screen.co.jp/spe...